高純度ガス系バルブ 半導(dǎo)體製造工程でお使いいただける、スーパークリーンバルブ(ダイヤフラムバルブ、ベローズバルブ、チェックバルブ等)の製品一覧です 高純氣體系統(tǒng)閥門(mén) 半導(dǎo)體制造工序中可使用的超潔凈閥(隔膜閥、波紋管閥、止回閥等)的產(chǎn)品一覽。
NTD 集積用自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
高い耐久性と流量の安定性を兼ね備えた1.125" C-Seal対応のダイヤフラムバルブです
XD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
XD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
高純度ガスプロセス用の低コストダイヤフラムバルブです 半導(dǎo)體を含めた幅広い分野でご使用いただけます
KD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
低圧ダイヤフラムのフラッグシップモデルです 半導(dǎo)體用高純度ガス対応の高品質(zhì)ダイヤフラムバルブです
KD-T 可変流量ツーステップバルブ
KD-T 可変流量ツーステップバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
1臺(tái)で全閉?任意開(kāi)度?全開(kāi)のコントロールが可能なダイヤフラムバルブです ダイヤフラムにて任意開(kāi)度を制御するためパーティクルフリーを?qū)g現(xiàn)しています
KD-K 250℃対応オールメタル自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD-K 250℃対応オールメタル自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
環(huán)境溫度250℃まで対応可能なオールメタルダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構(gòu)成部品全てが高溫環(huán)境下で使用できる仕様となっています
KD-HK 300℃対応オールメタル自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD-HK 300℃対応オールメタル自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
環(huán)境溫度300℃まで対応可能なオールメタルダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構(gòu)成部品全てが高溫環(huán)境下で使用できる仕様となっています
KD-A 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD-A 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
環(huán)境溫度200℃まで対応可能なPFAシートのダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構(gòu)成部品全てが高溫環(huán)境下で使用できる仕様となっています
KD-S 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD-S 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
環(huán)境溫度200℃まで対応可能+Cv値の安定性を兼ね備えたPFAシートのダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構(gòu)成部品全てが高溫環(huán)境下で使用できる仕様となっています
TD-S 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
TD-S 200℃対応自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
環(huán)境溫度200℃まで対応可能+Cv値の安定性を兼ね備えたPFAシートの集積用ダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構(gòu)成部品全てが高溫環(huán)境下で使用できる仕様となっています
VLD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
VLD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
KDシリーズをベースに性能?機(jī)能?耐久性を継承し低コストを?qū)g現(xiàn)したバルブです 半導(dǎo)體用高純度ガス対応のダイヤフラムバルブです
KCD コンパクト自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KCD コンパクト自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
KDシリーズをベースにコンパクト化したバルブです 半導(dǎo)體用高純度ガス対応の高品質(zhì)ダイヤフラムバルブです
VLCD コンパクト自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
VLCD コンパクト自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
VLDモデルをベースにコンパクト化したバルブです 半導(dǎo)體用高純度ガス対応の高品質(zhì)ダイヤフラムバルブです
TDF 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
TDF 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
ALDプロセスに必要な高速?gòu)甏?、高耐久、耐熱性?/span>Cv安定性を有したダイヤフラムバルブです
KD-E シート交換可能自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
KD-E シート交換可能自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
RSV(リプレイサブルバルブ) KDシリーズをベースにシートとダイヤフラムを交換可能としたダイヤフラムバルブです
ZCD ゼロボリューム自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ZCD ゼロボリューム自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
バルブ內(nèi)部のデットボリュームを極限まで小さくしたダイヤフラムバルブです
TD 集積用自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
TD 集積用自動(dòng)ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
集積タイプ 1.125"C-Seal対応のダイヤフラムバルブです
WD シート交換可能自動(dòng)ダイヤフラムバルブ 0.98MPa仕様
WD シート交換可能自動(dòng)ダイヤフラムバルブ 0.98MPa仕様
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
液體材料用に開(kāi)発された、シートとダイヤフラムが交換可能なダイヤフラムバルブです
NDD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ 2.0MPa仕様
NDD 自動(dòng)ダイヤフラムバルブ 2.0MPa仕様
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
2.0MPa仕様のダイヤフラムバルブです 半導(dǎo)體用高純度液體材料対応の高品質(zhì)ダイヤフラムバルブです
TDF4 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
TDF4 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動(dòng)
ALDプロセスに必要な高速?gòu)甏?、高耐久?/span>Cv安定性を有したダイヤフラムバルブです
隔膜閥低壓
KD4CS-VC
隔膜閥低壓自動(dòng)
KD4CB-VFC
隔膜閥低壓自動(dòng)導(dǎo)流
KD4MS-VC
隔膜閥低壓手動(dòng)
KD4MB-VC
隔膜閥低壓手動(dòng)分流器
隔膜閥高壓
RD8CSI-VC
隔膜閥高壓自動(dòng)
RD4CBH-VC
隔膜閥高壓自動(dòng)分流器
RD4微星-VC
隔膜閥高壓手動(dòng)
RD4MBI-VC
隔膜閥高壓手動(dòng)分流器
波紋管閥
IB4CS-VC
自動(dòng)波紋管閥
IB4MS-VC
波紋管閥說(shuō)明書(shū)
止回閥
IC4-V
止回閥
清潔蝶閥
BZD50MS-射頻
清潔蝶閥
特色產(chǎn)品
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物料容器閥
TDF8CS-GA
ALD 工藝閥門(mén)
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SCV 潛水閥? TD-S 系列
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SCV 潛水閥? KD-S 系列